中信证券：SSMB方案得到广泛关注存在EUV光源换道超车的可能性
2023-09-21 13:26
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光刻胶
中信证券研报认为，近期SSMB方案得到广泛关注，存在EUV光源换道超车的可能性，从技术层面看，SSMB与同步射光源技术具有一定相似性，SSMB具备产业化验证条件，从供应链角度看，我国在同步辐射光源须域基叫好，在核心零部件自主可控的前提下，HEPS项目已完成光源出束，目前，SSMB方案已完成理论证明，项目建设有望提上日程。若SSMB方案商业化进展，我国在光刻或取得重大突并准动国内先进/程域发展。